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唐咸通八年（867年）四月十日，义玄禅师圆寂。遗体火化后，其弟子将舍利分建二塔藏之，一塔建于河北大名（已毁），一塔建于河北正定城内临济寺。唐懿宗赐谥“惠照禅师”，赐正定塔为“澄灵塔”。
宋金
临济寺在宋金战争中毁于战火，仅存残塔。金大定二十三年(1183年)，金世宗下旨修复澄灵塔及临济寺各建筑。今之澄灵塔即为辽金典型样式。
元代
元朝时，住持海云法师主持了重修和扩建。元葛罗禄迺贤所著《河朔访古记》载：“临济寺在真定府城中，定远门街，飞云楼之东。其三门下有唐吴道子所画布袋和尚像及摇铃普化真赞、东坡墨竹、绿筠轩诗等石刻，极为精细”。元至大二年(1309年)，赵孟頫奉敕撰《临济正宗碑》文，立于寺中。
明代
临济寺
明朝正德十六年(1521年)，临济寺又进行了重修，当时，寺内的主要建筑有山门、大雄宝殿、澄灵塔和祖堂及僧房。并新立石碑，由王饼撰记，郭希愈书。至明末清初，寺院再度荒废。
清代
清朝雍正帝临济寺僧义玄为真常惠幽禅师并拨银重修临济寺。道光十年(1830年)，总兵舒通阿出资再度重修，并将祖师殿移至大雄宝殿两侧。
民国
抗日战争时期，临济寺除澄灵塔外，尚有祖堂三间，东配殿三间。1947年底，这些殿堂都被拆毁，仅存澄灵塔。
1949年后
中国共产党夺取中国政权后推行无神论，其控制区域内宗教活动受到抑制。直到1983年该寺被定为汉族地区佛教全国重点寺院。而后于1984年正式交由佛教界管理，作为佛教活动的场所开放。
中日两国临济宗与黄檗宗（临济宗分支，明末清初由福建福清县黄檗山万福寺临济宗隐武禅师赴日创立）共奉临济寺为祖庭。1979年5月，日本临济、黄檗两宗联合成立枣日中友好临黄协会。自1980年起，每年派遣代表团访华，朝拜临济禅师塔，并捐款维修。
临济义玄雕像
1985年由日本临济、黄檗两宗法侣资助及当地政府出资，修复“澄灵塔”，其后又逐步重建大雄宝殿、祖堂、寺舍等。 中国河北省正定县南城门（长乐门）内的临济义玄雕像。
1986年5月19日，寺内举行了祖塔修复落成剪彩仪式佛像开光典礼和诵经法会，有日中友好临黄协会访华团一百人及当地佛教人士共同参加。开光法会由中国佛协常务理事、广东省佛协副会长、光孝寺住持、临济宗第四十四代传人本焕法师和日本临济宗永源寺派管长筱原大雄长老共同主持。 1988年5月15日，河北省佛教协会在寺内成立，净慧法师任会长。
1990年10月14日，有明法师接任临济寺方丈，为临济宗第四十五代传人。有青岛湛山寺方丈明哲、洛阳白马寺方丈海法、五台山善财洞监院能修法师等诸山长老及各地教徒300余人参加了有名法师的升座仪式。
临济寺 - 旅游指南交通
交通：1、正定南邻石家庄市15公里，北距北京城258公里，京广、京深、石德、石太铁路穿镜而过。从石家庄火车站坐201路小公共汽车站，3元左右；也可以从石家庄市内打车直接到临济寺，大约30元。
2、自驾车上107国道即可到达正定南外环路。
住宿：中高低档的宾馆都有。招待所和宾馆比较便宜，几十元左右；推荐金河大酒店，标间80元。
美食：扒糕、粉浆、豆腐脑是正宗的正定小吃三宝，还有南北罕见的鸡丁、崩肝、肘花儿等美食。正定西门的八大碗，是正定传统的节庆菜。而正定最不起眼却最美味的吊炉烧饼，0.5元/个。
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